地三尺’,梳理国内所有可能替代的零部件、材料、软件供应商,哪怕性能只有对方的百分之八十,也要扶植起来,创建一条哪怕粗糙但完全自主的‘b计划’供应链。同时,激活与欧罗巴、霓虹二线供应商的秘密接触,利用东门子等合作伙伴的渠道,查找一切可能的技术突破口和替代品。”
命令一下,整个未来科技和华夏芯谷如同一个上紧了发条的精密仪器,以前所未有的速度运转起来。
深城,华科院联合实验室内,灯火通明。
年过花甲但仍奋战在一线的许教授,看着林薇带来的晶圆缺陷图,眉头紧锁:
“arf光刻胶的难点在于分子结构的精确控制和纳米级别的均匀度。国外巨头积累了数十年,专利壁垒森严。我们之前的研究更多是跟踪仿制,现在要短时间内实现超越,难度极大。”
“许老,我们没有时间按部就班了。”
林薇语气坚定,
“我们必须走一条不一样的路。他们追求极致的分辨率,我们是否可以优先追求卓越的缺陷控制率和工艺窗口?哪怕牺牲一点点理论上的分辨率,只要能让产线先以可接受的良率跑起来,就是胜利!”
这一思路打开了新的方向。联合团队放弃了完全复刻国外配方的想法,转而针对国产光刻机的特性和28n工艺的痛点,进行全新的分子设计。
无数个日夜,实验室里充满了化学试剂的气味和激烈的讨论声。
一次次的合成,一次次的失败,测试晶圆上的缺陷仿佛一道道嘲笑的疤痕。
与此同时,在华夏芯谷的洁净室内,“钥匙小组”的挑战同样艰巨。
没有原厂支持,调试光刻机如同盲人摸象。一次激进的参数尝试,甚至导致一整个批量的晶圆彻底报废,损失高达数百万。
金秉洙博士顶着压力,组织团队彻夜分析数据。
“我们不能蛮干。”
他沙哑着嗓子说,
“必须创建我们自己的光刻机病理学数据库。每一次失败,都要弄清楚为什么失败。”
章宸博士带领的架构团队也添加了战场,他提出了一个大胆的想法:
“既然硬件精度短期内难以突破,我们能否在芯片设计端进行补偿?比如,利用chiplet架构,将最精密的计算单元和对制程不敏感的io单元分开制造,再用先进封装集成?这样可以降低对单一制程良率的依赖。”
这个“设计-工艺协同优化”的思路,为困境中的团队打开了一扇窗。
虽然远水难解近渴,但无疑是面向未来的重要方向。
就在攻坚最白热化的阶段,周明带来了一个不知是好是坏的消息:通过东门子的隐秘渠道,一家位于霓虹的中型光刻胶公司“水獭化学”,愿意私下提供一批达到28n基本要求的实验性光刻胶样品,但价格是市场价的五倍,且不提供任何技术支持,并要求绝对保密。
“这是趁火打劫,但也是救命稻草。”
林薇在内部会议上说。
陈醒拍板:
“买!不仅要买,还要派出我们的技术团队,以‘客户’的身份,尽可能多地与他们的工程师交流,学习经验。同时,这笔钱也要让我们自己的‘火炬小组’看到,我们离目标还有多远,激励他们必须搞出来!”
昂贵的霓虹样品暂时稳住了最低限度的研发和试验,但所有人都明白,这绝非长久之计。
转机出现在一个凌晨。
华科院实验室里,一个年轻的博士后在一次看似偶然的实验中,尝试引入了一种新型的金属氧化物纳米团簇作为光刻胶的增强剂。
当测试结果出来时,所有人都惊呆了,在特定条件下,这种新型光刻胶在关键尺寸的均匀性和缺陷控制上,竟然首次超过