深城总部顶层的灯光,在二十五周年庆典的喧嚣散去后,并未熄灭,反而亮得更加执着,如同夜海中指引航向的灯塔。
庆典的鲜花与掌声已被收起,取而代之的是悬挂在战略指挥中心巨大电子屏上的,一幅全新的作战示意图——“追光计划”二期,euv攻坚战总览图。
图上清淅标注着三路大军的进军路线、技术节点与攻克时限,红、蓝、黄三色箭头,如同三柄利剑,直指那座名为“极紫外光刻”的技术珠峰。
陈醒站在图前,身后是公司所有内核高管。庆典上宣布的“领跑”宣言言犹在耳,但此刻,每个人都清楚,口号必须踏踏实实地踩在每一个原子、每一束光的精度上。
“同志们,庆典结束了。”
陈醒的声音打破了沉寂,没有激昂的动员,只有冰冷的理性。
“周明带来的消息大家都知道了。阿斯莫的管制升级,不是警告,是宣战。他们想把我们永远锁死在28n的舒适区,扼杀我们向更高制程进军的所有可能。我们没有任何退路,‘追光计划’二期,从现在起,进入战时状态!”
他的目光扫过众人,最终落在林薇、金秉洙和梁志远身上。
“林薇,你作为项目总协调,我要你确保三路大军的资源,尤其是人才和资金,必须无限量、无条件优先保障!金博士,梁工,正面战场,就交给你们了。”
第一路,正面强攻,“光源与光学”突击队。
合城,华夏芯谷深处,新落成的euv光源实验室。这里的气氛比超净间更加凝重,空气中弥漫着臭氧和金属加热后的特殊气味,巨大的二氧化碳激光器数组发出低沉的嗡鸣。
金秉洙博士双眼布满血丝,紧盯着主控屏幕上疯狂跳动的数据。第三次锡滴激光轰击实验刚刚结束,结果依旧不理想。。”
一位年轻工程师声音干涩地汇报,脸上写满了沮丧。
“锡滴的生成频率和激光的同步精度,始终有纳秒级的抖动,导致等离子体状态不稳定,euv光输出功率波动太大。”
纳秒,对于常人而言是无法感知的一瞬,但对于需要以每秒数万次频率精准轰击微米级锡滴的euv光源来说,却是生与死的界限。
“问题出在哪里?是激光器的脉冲控制,还是锡滴发生器的机械振动?”
金秉洙的声音嘶哑,他已经在实验室连续盯了48小时。
“我们排查了所有已知的可能。激光器的稳定性已经做到了当前技术的极限。锡滴发生器的材料在连续高频冲击下,出现了微米级的形变……这可能就是抖动的根源。”
来自华科院东北光机所的专家,指着电子显微镜下的一张材料结构图,眉头紧锁。
“我们需要一种全新的、具备极高抗疲劳强度和热稳定性的合金材料。”
材料!又是材料!这仿佛是华夏科技向上攀登道路上,永远绕不开的拦路虎。
“国内有能做的吗?”
金秉洙问,心里其实已经有了答案。
“有几家顶尖的材料研究所,但……时间。从配方设计、熔炼、到性能测试、迭代,没有一年半载,很难拿出满足要求的样品。”
一年半载?陈醒给出的两年工程样机时限,瞬间就显得无比紧迫。
就在这时,实验室的门被推开,林薇带着一位身着便装,但气质精干的中年人走了进来。
“金博士,介绍一下,这位是徐文渊教授,国家新材料重点实验室的首席科学家,也是我们‘星火计划’最早期的顾问之一。徐教授在耐高温高强合金领域,是国内的绝对权威。”
徐文渊没有寒喧,直接走到显微镜屏幕前,仔细看着那张材料结构图。
“问题很典型。高频冲击下的晶界滑移和再结晶导致的疲劳。传统的镍基合金路线走到头了。”
他抬起头,眼中闪铄着挑战