巨大的双层隔离观察窗外，金秉洙博士的眼睛布满血丝，盯着主控屏幕上那条缓慢但持续下滑的曲线，euv输出功率稳定度：963，距离昨夜梁志远报告时的967又跌了04个百分点，而且没有止跌迹象。
实验室内部，真空泵组的低吼声中，技术人员正在执行紧急在线清洗程序。十二个清洗喷头从机械臂上精准伸出，向euv光源内核光学腔体内喷射特制的高纯度氩气-氦混合等离子流。这是金秉洙团队设计的“非接触式镜面清洁技术”，理论上可以在不停机情况下清除镜面上纳米级污染物。
“所有光学传感器数据同步记录。”金秉洙的声音嘶哑，“特别注意第二反射镜组后的光强分布变化。”
屏幕上，数十个监测点的数据开始跳动。。实验室里有人轻轻松了口气。
但金秉洙的眉头皱得更紧了。他太了解这台耗费了五年心血的“追光二期”原型机了，如果问题真的只是镜面污染，在线清洗后的恢复曲线应该是徒峭的，而不是这种有气无力的爬升。
果然，在清洗程序进行到第八分钟时，异变陡生。
“警报！第四激光束同步偏差超限！”主控系统冰冷的电辅音骤然响起，“警告：锡滴击中率下降至87！”
屏幕上，代表十六道子激光束同步状态的波形图突然紊乱，其中第四束光的相位明显落后于其他光束。更致命的是，锡滴喷射系统监控画面显示，原本应该被激光精准击中的液态锡微滴，有超过13偏离了预定轨道，未能被完全汽化形成等离子体。
“停止清洗！立即停止！”金秉洙几乎是对着麦克风吼出来，“切换到手动模式，保留第七到第十二束激光，关闭其馀光束！”
操作员的手指在控制台上飞舞。。
“腔体压力异常上升！
“锡滴收集器温度飙升，超过安全阈值！”
“紧急停机程序激活！所有激光器安全闭锁！”
巨大的嗡鸣声骤然停止，实验室陷入一种令人心悸的寂静。只有冷却系统还在运转，发出低沉的、仿佛叹息般的声音。
金秉洙一拳砸在控制台上，不锈钢台面发出沉闷的回响。他身后的团队成员们脸色苍白，这次紧急停机，意味着至少需要48小时来重启系统、排查故障、重新校准。而按照“深红路线图”的时间表，“追光二期”必须在两周内完成连续168小时的长稳测试，才能为14n euv工艺验证提供可靠的光源保障。
“金博士。”一个冷静的声音从身后传来。
金秉洙猛地回头，看到陈醒不知何时已经站在观察窗前。他穿着简单的黑色工装，脸上看不出长途奔波后的疲惫，只有一种沉静的专注。
“陈总，您怎么……”金秉洙有些吃惊。从深城到合城，即便是最早的航班，此刻也不该出现在这里。
“专机。”陈醒简短解释，目光已经投向主控屏幕上冻结的数据流，“停机前最后一毫秒的光谱分析数据调出来。”
技术人员迅速操作。。
“这些是……”金秉洙凑近屏幕。
“锡的l系辐射线，还有微弱的氧kα线。”陈醒用手指在屏幕上圈出几个峰位，“激光击偏的锡滴没有被完全汽化，部分液态锡溅射到镜面上，在后续激光脉冲中二次加热，产生了这些异常辐射。更麻烦的是，”
他放大光谱图的一角：“看到这个微小的连续背景了吗？这是高能电子轰击镜面镀膜层产生的韧致辐射。说明有带电粒子在腔体内积累。”
“静电问题？”金秉洙瞬间反应过来。
“比那复杂。”。画面经过ai增强后清淅显示：在第四激光束失步的那个瞬间，锡滴喷射轨迹出现了微妙的扭曲，仿佛被无形的力场牵引。
“腔体内存在局部电场畸变。”陈醒断言，“可能是某个高压电极的绝缘材料在长期热负荷