要求。。”
上海研发中心的负责人举手：“我们做了仿真，发现主要瓶颈在于粒子沉降速度。。必须增加主动净化措施。”
“我们试了微型离子风机，但会产生臭氧，对芯片有害。”深圳团队补充。
“用静电吸附呢？”李卫国在合城那边提出，“在晶圆盒内壁布置纳米结构的驻极体材料，产生静电场吸附粒子。徐文渊院士的那种纳米纤维材料，表面可以改性，增加静电驻极效果。”
“但吸附饱和后需要再生，这又涉及复杂的维护周期。”西安团队质疑。
讨论陷入僵局。这是一个典型的工程悖论：要小巧轻便，就不能复杂；要高效净化，就需要能量和介质；要避免二次污染，就得增加隔离措施。
林薇看着争论的各方，突然想起什么：“等等。我们是不是一直在思考‘如何去除粒子’？但如果换一个思路：如何让粒子不产生？或者即使产生了，也不让它落到晶圆上？”
“什么意思？”张京京在北京问。
“工艺舱内部。”林薇调出工艺舱的设计图，“晶圆盒在工艺舱内打开时，晶圆暴露在舱内环境中。。舱内净化可以做得更强大，因为空间相对大，而且不需要移动。”
“但不同工艺要求的环境不同。”王振华指出，“氧化需要高温氧气，刻蚀需要等离子体，这些过程本身就会产生粒子。”
“那就分而治之。”林薇的思路越来越清淅，“把工艺舱设计成双层结构：内层是真正的工艺腔，允许产生粒子；外层是过渡洁净区，始终保持超高洁净度。晶圆在内层完成工艺后，先在外层进行表面吹扫净化，再回到晶圆盒内。这样，晶圆盒只需要维持从工艺舱到传输渠道的短途洁净。”
会议室里安静了几秒，然后响起一阵噼里啪啦的键盘声，所有人都在快速仿真这个方案的可行性。
“理论上可行。”五分钟后，上海团队第一个反馈，“但需要增加过渡区的设计和控制，系统复杂度上升。”
“复杂度可以靠智能控制算法解决。”林薇看向赵静在北京的窗口，“小芯ai能不能处理这种多层级的动态环境控制？”
赵静一直在旁听，此刻才开口：“可以。我们最近在开发的多智能体协同控制框架，正好适用于这种场景。每个工艺舱、每个晶圆盒、甚至每个功能局域都可以作为一个智能体，通过协商机制动态调整运行策略。但需要大量的实时数据训练。”
“那就收集数据。”林薇果断决定，“李老师，王老师，麻烦你们尽快加工出第一代密封接口样件；上海团队，设计双层工艺舱的原理样机；深圳、西安，你们负责辅助系统和传感器；北京这边，赵静团队开始搭建控制算法的框架。我们两周后，在合城基地进行第一次集成测试。”
“两周？！”几个声音同时惊呼。
“先导实验线的建设周期只有45天，现在已经过去5天。”林薇调出倒计时，“我们没有时间按部就班。必须并行推进，快速迭代。我知道这很困难，但各位……”
她顿了顿，声音通过麦克风传到每个节点：“如果我们现在不拼，等别人的技术路线彻底封死我们的出路时，再拼就来不及了。这不是一个商业项目，这是一场战争。而我们每个人，都是这场战争中的士兵。”
沉默。然后是李卫国在合城那边低沉的声音：“明白了。我实验室从现在开始，二十四小时运转。我这把老骨头，还能再熬几个通宵。”
“我们这边也是。”王振华说。
“上海没问题。”
“深圳保证完成任务。”
一个个声音响起，平静但坚定。
视频会议结束，已是凌晨一点半。林薇关掉摄象头，疲惫地靠在椅背上。会议室里只剩她一个人