林薇回答:“天权5的架构优化方案下个月评审,工程样片预计十六周后出来。追光四期的控制系统开发可以先在天权4号上做,等天权5出来后移植过去。指令集兼容,移植工作量不大。”
章宸点了点头。
接下来,张京京介绍了追光四期与合城产线的对接计划。
“追光四期的验证,不能只在实验室做,必须和量产线结合。我们的计划是——在合城产业园新建一条追光四期中试线,投资两亿,设计产能每月一千片。中试线的作用有三个——第一,验证追光四期的工艺稳定性和重复性。第二,培养操作和维护团队。第三,为客户提供工艺开发和打样服务。”
“中试线建设周期二十四周,和追光四期的整机集成验证阶段同步。三十六周后,追光四期通过验证,中试线也建成投用。然后再用十六周时间,在中试在线跑通量产工艺,最后移植到大规模量产线。”
苏黛问了一个问题:“两亿的投资,从哪里出?”
林薇回答:“从追光项目的专项预算里出。追光三期到四期,总预算是十五亿,已经花了八亿,还剩七亿。两亿的中试线投资在预算内。”
苏黛在笔记本上记了下来。
会议进入内核议题——追光四期工艺验证计划的具体安排。
梁志远调出了一张详细的时间表。
“第一阶段,内核模块验证,八周。分四个子模块并行验证——多室真空传输模块、旋转阴极数组模块、在线检测模块、自动控制模块。每个模块在独立的实验平台上验证,达标后进入第二阶段。”
“第二阶段,整机集成验证,十二周。把四个模块集成到一台完整的追光四期样机上,在实验室环境下连续运行,验证整机的稳定性、可靠性、以及工艺性能。这个阶段会生产一千片测试样片,进行全面的物性分析和可靠性测试。”
“第三阶段,量产爬坡验证,十六周。把追光四期样机搬到合城的中试在线,在实际生产环境下运行。目标是连续生产五千片,良率稳定在百分之九十五以上,平均无故障时间超过五百小时。达到这个目标后,追光四期就可以进入大规模量产。”
林薇追问了一个关键问题:“每个阶段的通过标准是什么?”
梁志远翻到了验证计划的附录。
“第一阶段,每个子模块的关键指标达标——真空传输模块,基板传输速度每秒五百毫米,定位精度正负零点一毫米,破真空到恢复时间小于两分钟。旋转阴极数组,镀膜均匀性正负百分之一以内,靶材利用率百分之七十以上。在线检测模块,膜厚测量精度正负零点一纳米,晶体结构识别准确率百分之九十九。自动控制模块,工艺参数自动调整响应时间小于零点五秒,工艺优化收敛时间小于十分钟。”
“第二阶段,整机连续运行五百小时,无重大故障。测试样片的膜厚均匀性正负百分之一以内,界面结合力比追光三期提升百分之五十,工艺窗口温度正负三度、气压正负百分之三、功率正负百分之三。”
“第三阶段,连续生产五千片,良率百分之九十五以上,平均无故障时间五百小时。单片成本比追光三期降低百分之三十。工艺文档和培训手册完整,操作团队通过考核。”
周明问了一个问题:“追光四期的知识产权保护怎么做的?这么先进的技术,如果被竞争对手模仿或者窃取,损失会很大。”
林薇让法务团队的代表回答了这个问题。那是一个三十出头的专利工程师,姓吴,戴着黑框眼镜,说话条理清淅。
“追光四期的内核技术,我们已经布局了四十七项专利申请,其中发明专利三十九项、实用新型八项。复盖了多室结构、旋转阴极数组、在线检测、自动控制四个模块。另外,有十二