梁志远在合城二期厂房的洁净信道里站了整整一个上午。三批新到港的设备分别在三个不同的洁净间里同步进行安装调试，他的工作服口袋里装着三份验收排期表，每份表格上的时间节点都用红笔圈过至少两遍。第一批是国内供应商交付的第三代刻蚀设备，第二批是进口真空计替换后的薄膜沉积设备改造机组，第三批是追光四期产能爬坡急需的在线检测自动化站台。三批设备的验收结果将直接影响追光四期后续六个月的产能爬坡节奏，而产能爬坡的节奏又直接绑定了天权4号全球六大局域同步供应的交付承诺。
第三代刻蚀设备的安装基座已经在三号洁净间完成调平。国内供应商派出的技术团队从四天前开始进场，基础安装比原计划提前了一天半完成，但工艺验证测试从一开始就遇到了麻烦。设备的射频发生模块在满功率运行时的等离子体密度均匀性比出厂测试数据低了两个百分点，这两个百分点的偏差在常规工艺窗口内不算致命，但梁志远要求的是追光四期的持续改良标准——良率从百分之九十六点二往上推，每提升零点一个百分点都需要设备参数的极端稳定。
“不是设备的问题，是厂务端气体纯化系统的颗粒物浓度比验收标准高了零点三个数量级。”供应商的技术负责人姓钟，四十多岁，是国内第三代刻蚀设备研发团队的内核成员。他把气体纯度检测报告摊在洁净间外的缓冲间工作台上，报告上标注着氩气纯化出口的颗粒物计数——每立方米零点七颗，验收标准是零点五颗。“你们合城二期的厂务系统整体标准已经很高了，但我这台设备的第三代反应腔对颗粒物的敏感度比上一代高了不止一个档次。零点七颗的颗粒物浓度在第二代设备上完全不影响工艺均匀性，在第三代上就会被放大成等离子体密度的波动。”
梁志远拿起检测报告仔细看了一遍。气体纯化系统的颗粒物过滤器是合城二期建厂时统一采购的进口型号，规格在当时是顶配，但面对第三代刻蚀设备对洁净度的新要求，原有的过滤等级已经不够用。他和厂务团队在现场开了个短会，决定在刻蚀设备的气体入口端加装一级在线精密过滤器，过滤精度比现有的厂务端过滤器再高一个数量级。代价是多加三天的安装调试时间，但换来的是一次性把颗粒物浓度压到每立方米零点三颗以下——不仅是刻蚀设备受益，整个三号洁净间的气体纯度都会上一个台阶。
“加装的过滤器从哪儿调？”厂务主管翻开库存清单，脸色不太好看。在线精密过滤器是耗材，合城二期备品库的库存只有两套，一套已经预留给薄膜沉积设备改造机组，剩下一套如果用在刻蚀设备上，后续的更换周期会有三天的空窗期。
梁志远拿起终端拨通了程功的号码。供应链管理中心在国产替代推进过程中创建了一套备件应急调度机制，复盖了从合城到印巴再到南洋七个局域的备件库存。程功查了三分钟，在新加坡局域备件仓找到了同型号的在线精密过滤器，库存两套，可以通过空运在四十八小时内送到合城。“新加坡的库存本来是给南洋智慧教室项目的天枢教育终端备件留的转运储备，但智慧教室的首批部署还没激活，过滤器可以先调拨回来。”程功在电话那头说，“不过你欠新加坡一套，两周内要从国内供应商重新补货。”
梁志远应了下来，同时让厂务主管立刻安装库存的那套过滤器。三号洁净间的气体纯化改造从下午两点开始，供应商钟工的技术团队同步调整射频发生模块的匹配网络参数，为过滤器安装后的等离子体密度重新校准做准备。
薄膜沉积设备改造机组的调试比刻蚀设备更紧迫。这台机组的内核改造是替换进口真空计——印巴装配厂两个月前暴露的真空计供应链风险在这台机组上同样存在。国产替代真空计的量产版本在三周前通过了出厂测试，精度稳定性在连续两百小时运行中偏差不超过百分之零点五，但出厂测